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旋片真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封機(jī)械真空泵。其工作壓力范圍為101325 ~ 1.33 10-2(帕)，屬于粗真空泵。它可以單獨(dú)使用或作為其他高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。

旋片泵可以泵出密封容器中的干燥氣體，如果裝有氣體鎮(zhèn)流裝置，還可以泵出一定量的可冷凝氣體。然而，它不適合抽出含有太多氧氣、對金屬有腐蝕性、與泵油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并含有顆粒灰塵的氣體。

旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵大多是中小型泵。旋片泵有兩種類型：單級(jí)和雙級(jí)。所謂兩級(jí)泵是將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)在一起的結(jié)構(gòu)。一般來說，它分為兩個(gè)階段，以獲得更高的真空度。旋片泵的泵送速度與入口壓力的關(guān)系如下：在入口壓力為1333帕、1.33帕和1.33 10-1(帕)時(shí)，泵送速度應(yīng)分別不低于泵標(biāo)稱泵送速度的95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。轉(zhuǎn)子偏心地安裝在旋片泵的空腔中。轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切(兩者之間有一個(gè)小間隙)，兩個(gè)帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽中。當(dāng)旋轉(zhuǎn)時(shí)，離心力和彈簧的張力保持旋片的頂端與泵室的內(nèi)壁接觸，并且轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)以驅(qū)動(dòng)旋片沿著泵室的內(nèi)壁滑動(dòng)。

由轉(zhuǎn)子、泵室和兩個(gè)端蓋圍成的月牙形空間分為三個(gè)部分：A、B和C。當(dāng)轉(zhuǎn)子沿箭頭方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，與吸入口連通的空間A的容積逐漸增大，并處于吸入過程中。同時(shí)與排氣口連通的空間c的體積逐漸減小，這是在排氣過程中。中間空間b的體積也在逐漸減小，這是在壓縮的過程中。隨著空間A的體積逐漸增加(即膨脹)，氣體壓力降低，并且泵入口處的外部氣體壓力大于空間A中的壓力，因此氣體被吸入。

當(dāng)空間A與吸入口隔離時(shí)，也就是說，它轉(zhuǎn)向空間B的位置，氣體開始被壓縮，其體積逐漸減小，最后它與排出口連通。當(dāng)壓縮氣體超過排氣壓力時(shí)，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體通過油箱中的油層排放到大氣中。連續(xù)泵送是通過泵的連續(xù)運(yùn)行來實(shí)現(xiàn)的。如果廢氣通過空氣通道轉(zhuǎn)移到另一級(jí)(低真空級(jí))，它被低真空級(jí)抽走，然后被低真空級(jí)壓縮，然后排放到大氣中，從而形成兩級(jí)泵。此時(shí)，總壓縮比由兩個(gè)階段承擔(dān)，因此增加了極限真空度。